|
(для групп Т7-38, Е7-02)
1 неделя Элементный и структурный анализ в развитии современной технологии. Характеристики пучков корпускулярных излучений: плотность потока, угловая расходимость, энергетический спектр; единицы измерений. Кинематика процесса упругого рассеяния в лабораторной системе координат.
2 неделя Диаграмма процесса упругого рассеяния в системе центра инерции. Сечение рассеяния и прицельный параметр. Упругое рассеяние при кулоновском потенциале взаимодействия. Формула Резерфорда. Переход в лабораторную систему. Энергетические границы применимости кулоновского потенциала для ионных пучков.
3 неделя Упругое рассеяние иона на атоме при экранированном кулоновском потенциале взаимодействия. Функция экранирования с радиусом экранирования Фирсова и Линдхарда.
4 неделя Линдхардовское сечение рассеяния для экранированного кулоновского потенциала. Аппроксимация аналитическими выражениями.
5 неделя Ядерная и электронная тормозная способность вещества и их связь с удельными потерями энергии при движении ионов в твердом теле. Расчет тормозных способностей для кулоновского потенциала взаимодействия.
6 неделя Расчет тормозных способностей для экранированного кулоновского потенциала.
7 неделя Расчет траекторных пробегов ионов в твердом теле и распределение внедренных ионов по глубине.
8 неделя Распыление поверхности ионным пучком. Расчет коэффициента распыления в модели Зигмунда. Энергетическое и угловое распределение распыленных атомов. Зарядовый состав распыленных частиц. Ионное травление.
9 неделя Процессы, происходящие при взаимодействии электронного пучка с твердым телом: электрон-электронная эмиссия, характеристическое рентгеновское излучение, Оже-электронная эмиссия.
10 неделя Удельные потери энергии электронов при движении в твердом теле. Расчет траекторного пробега ускоренных электронов.
11 неделя Расчет сечения ионизации атомных оболочек электронным пучком. Потери энергии электронами при движении в твердом теле за счет тормозного излучения.
12 неделя Прохождение рентгеновского излучения через твердое тело. Расчет коэффициента ослабления. Метод фильтров для монохроматизации рентгеновского излучения.
13 неделя Рассеяние ионных и электронных пучков на атомах остаточного газа в вакуумных камерах установок. Влияние вакуумных условий на свойства поверхности образца. Термоэмиссионные и автоэмиссионные катоды и их характеристики. Основные узлы и характеристики электронной пушки.
14 неделя Ионные источники (дуоплазмотрон и источник Пеннинга). Разделение ионных пучков по массам. Регистрация потоков заряженных частиц малой интенсивности с помощью цилиндра Фарадея, вторичных электронных умножителей, микроканальных пластин, сцинтилляционного детектора.
15 неделя Электростатические энергоанализаторы (Юза-Рожанского, сферический дефлектор, цилиндрическое зеркало) для измерение энергетического спектра заряженных частиц. Поверхностно-барьерный детектор.
16 неделя Восстановление истинного энергетического спектра заряженных частиц из измерений энергоанализаторами.
1. Кинематика упругого рассеянии частиц.
2. Рассеяние ионов в кулоновском потенциале.
3. Сечение упругого рассеяния для обратноквадратичного потенциала взаимодействия.
4-5. Рассеяние ионов в экранированном кулоновском потенциале.
6. Расчет тормозной способности ионов в твердом теле в кулоновском потенциале.
6-7. Расчет тормозной способности ионов в твердом теле в модели ЛШШ.
8. Расчет пробегов ускоренных ионов.
9-10. Расчет коэффициентов распыления и скоростей ионного травления.
11-12. Расчет пробегов ускоренных электронов.
13. Расчет сечений ионизации внутренних оболочек атомов твердого тела ускоренными электронами.
14. Расчет поглощения рентгеновского излучения в твердом теле.
15-16. Аппаратные функции магнитных и электростатических спектрометров.
ЛИТЕРАТУРА
|
1. |
537 Ж12 |
Жабрев Г.И. Электронные и ионные пучки в методах анализа сверхпроводящих соединений. Учебное пособие. М.: МИФИ, 1989. |
|
2.* |
539 Ф37 |
Фелдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. М.: Мир, 1989. |
Дополнительная
|
1* |
539.1 Р99 |
Рязанов М.И., Тилинин И.С. Исследование поверхности по обратному рассеянию частиц. М.: Энергоатомиздат, 1985. |
*Книга находится в читальном зале.
|
|
