Кафедра 21 "Физика плазмы"

 

Применение высокочастотной плазмы в технологии

 (для групп Е9-04, Т9-21)

 

1-я неделя.

Тема 1. Электромагнитные волны сверхвысокой частоты (микроволны) в различных средах и электродинамических системах ( принципы распространения, особенности и преимущества использования микроволновой энергии для технологии).

2-я неделя.

Тема 2. Классические генераторы микроволнового излучения.

2.1. Магнетрон.

2.2. Клистрон.

2.3. Лампа обратной волны.

3-я неделя.

Тема 3. Релятивистские микроволновые генераторы.

3.1. Нерелятивистский и релятивистский гиротроны.

3.2. Релятивистский карсинотрон.

3.3. Плазменный релятивистский генератор.

4-я неделя.

Тема 4. Технология транспортировки и управления мощным микроволновым излучением.

4.1. Технология транспортировки микроволнового излучения в волноводных системах ( принципы, элементы, технология расчета).

4.2. Транспортировка микроволн в квазиоптических системах ( преобразователи, зеркальные и линзовые системы, технология расчета и настройки, комбинированные системы типа сфазированных рупорно-антенных решеток).

4.3. Технология и приборы для измерения параметров микроволнового излучения ( частота, мощность, распределения интенсивности в пучках микроволнового излучения).

5-я неделя.

Тема 5. Экспериментальные установки и технология получения плазмы в потоке микроволнового излучения.

5.1. Микроволновые разряды на поверхности диэлектрических материалов.

5.2. Микроволновые разряды на поверхности металлов.

6-я неделя.

5.3. Микроволновые разряды в газах и газовых струях.

5.4. Микроволновые разряды в магнитном поле.

7-я неделя.

Тема 6. Технология микроволновой диагностики плазмы.

6.1. Микроволновые интерферометры.

6.2. Микроволновые рефлектометры.

8-я неделя.

6.3. Микроволновые измерители скорости плазмы.

6.4. Технология измерения параметров плазмы по рассеянию микроволн.

9-я неделя.

Тема 7. Технология воздействия микроволновой плазмы на материалы.

7.1. Технология окрашивания монокристаллов в микроволновых разрядах.

7.2. Эрозионные процессы на материалах в микроволновой плазме.

10-я неделя.

7.3. Особенности эрозионных процессов на поверхности металлов в микроволновой плазме.

7.4. Процессы осаждения некоторых видов пленок в микроволновой плазме.

11-я неделя.

7.5. Технология получения некоторых микродисперсных порошков и чистых материалов в микроволновой плазме.

7.6. Технология получения алмазных пластин в плазме микроволнового разряда.

12-я неделя.

Тема 8. Технология микроволновых разрядов.

8.1. Технология микроволновых разрядов для получения озона.

8.2.      Микроволновая технология для генерации рентгеновского излучения.

13-я неделя.

8.3.      Микроволновые разряды как источники потоков электронов.

8.4.      Технология генерации мощных потоков быстрых ионов и атомов.

14-я неделя.

8.5.      Технология генерации ультрафиолетового излучения в микроволновой плазме.

8.6.      Технология разрушения фреонов и некоторых молекулярных газов в плазме микроволновых разрядов.

16-я неделя.

8.7.      Технология прямого плазменного преобразования мощного микроволнового излучения в квазипостоянный и синусоидальный электрические токи.

8.8.      Микроволновые плазмотроны.

 

ОСНОВНАЯ ЛИТЕРАТУРА

 

1.*	533 Р18		Ю.П.Райзер “Основы современной физики газоразрядных процессов”, М.: Наука, 1980 г.
2.*	53 Г-30		Геккер И.Р. “Взаимодействие сильных электромагнитных полей с плазмой”, М.:Атомиздат, 1978.
3.			“Диссипация электромагнитных волн в плазме”, (Труды ФИАН, т. 92), М.:Наука,1977

 

ДОПОЛНИТЕЛЬНАЯ ЛИТЕРАТУРА

 

4.*

621.37 Л 17

“Лазеры в технологии”, под. Ред. М.Ф.Стельмаха, М.: Энергия, 1975

 

*  -  книга находится в читальном зале

** -  книги нет в библиотеке МИФИ